Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Lithographies VI

Bibliografiska uppgifter
Övriga skapare: Blais, Phillip
Materialtyp: Elektronisk E-bok
Språk:engelska
Publicerad: SPIE Digital Library, 6/30/87
Ämnen:
Länkar:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
Beskrivning
Beskrivning:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
Fysisk beskrivning:1 online resource
Materialtyp:Mode of access: Internet
ISBN:9780892528080
Tillgång:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students