Batchelder, J. Lasers in Microlithography. SPIE Digital Library.
Citazione stile Chigago Style (17a edizione)Batchelder, John. Lasers in Microlithography. SPIE Digital Library.
Citatione MLA (9a ed.)Batchelder, John. Lasers in Microlithography. SPIE Digital Library.
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