Monahan, K. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Citace podle Chicago (17th ed.)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Citace podle MLA (9th ed.)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..