Monahan, K. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
MLA-viite (9. p.)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.