Monahan, K. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումMonahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումMonahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.