Citazione Stile APA (7a Edizione)

Monahan, K. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.

Citazione stile Chigago Style (17a edizione)

Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.

Citatione MLA (9a ed.)

Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.

Attenzione: Queste citazioni potrebbero non essere precise al 100%.