Monahan, K. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.