Monahan, K. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Chicago-referens (17:e uppl.)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
MLA-referens (9:e uppl.)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.