Monahan, K. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.