Monahan, K. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control. SPIE Digital Library.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.