Micromachining of Elements with Optical and Other Submicrometer Dimensional and Surface Specifications

Détails bibliographiques
Autres auteurs: Weck, Manfred
Format: Électronique eBook
Langue:anglais
Publié: SPIE Digital Library, 1/11/87
Sujets:
Accès en ligne:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Documents similaires