Stover, H. Optical Microlithographic Technology for Integrated Circuit Fabrication and Inspection. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Stover, Harry. Optical Microlithographic Technology for Integrated Circuit Fabrication and Inspection. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Stover, Harry. Optical Microlithographic Technology for Integrated Circuit Fabrication and Inspection. SPIE Digital Library.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.