Monahan, K. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control II. SPIE Digital Library.
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control II. SPIE Digital Library.
Citação MLA (9ª ed.)Monahan, Kevin. Integrated Circuit Metrology, Inspection, and Process Control II. SPIE Digital Library.
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