Panning, E. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VII. SPIE Digital Library.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Panning, Eric. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VII. SPIE Digital Library.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الإصدار التاسع)Panning, Eric. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VII. SPIE Digital Library.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.