Erdmann, A. Optical Microlithography XXIX. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումErdmann, Andreas. Optical Microlithography XXIX. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումErdmann, Andreas. Optical Microlithography XXIX. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.