Lin, Q. Advanced Etch Technology for Nanopatterning V. SPIE Digital Library.
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)Lin, Qinghuang. Advanced Etch Technology for Nanopatterning V. SPIE Digital Library.
Citação MLA (9ª ed.)Lin, Qinghuang. Advanced Etch Technology for Nanopatterning V. SPIE Digital Library.
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