Behringer, U. 32nd European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Behringer, Uwe. 32nd European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Behringer, Uwe. 32nd European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.