Goldberg, K. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IX. SPIE Digital Library.
Chicago (17e ed.) BronvermeldingGoldberg, Kenneth. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IX. SPIE Digital Library.
MLA (9e ed.) BronvermeldingGoldberg, Kenneth. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IX. SPIE Digital Library.
Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.