Ukraintsev, V. A. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXII. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Ukraintsev, Vladimir A. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXII. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Ukraintsev, Vladimir A. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXII. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.