Ukraintsev, V. A. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXII. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Ukraintsev, Vladimir A. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXII. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (9-е изд.)Ukraintsev, Vladimir A. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXII. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.