Engelmann, S. Advanced Etch Technology for Nanopatterning VII. SPIE Digital Library.
Chicago-referens (17:e uppl.)Engelmann, Sebastian. Advanced Etch Technology for Nanopatterning VII. SPIE Digital Library.
MLA-referens (9:e uppl.)Engelmann, Sebastian. Advanced Etch Technology for Nanopatterning VII. SPIE Digital Library.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.