Advanced Etch Technology for Nanopatterning VII

Detaylı Bibliyografya
Diğer Yazarlar: Engelmann, Sebastian
Materyal Türü: Elektronik Ekitap
Dil:İngilizce
Baskı/Yayın Bilgisi: SPIE Digital Library, 1/1/18
Konular:
Online Erişim:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
Diğer Bilgiler
Diğer Bilgileri:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
Fiziksel Özellikler:1 online resource
Materyal Türü:Mode of access: Internet
ISBN:9781510616707
9781510616714
Erişim:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students