Bakshi, V. EUV Lithography, Second Edition. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfBakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfBakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..