Yen, A. Optical Physics for Nanolithography. SPIE Digital Library.
Chicago (17e ed.) BronvermeldingYen, Anthony. Optical Physics for Nanolithography. SPIE Digital Library.
MLA (9e ed.) BronvermeldingYen, Anthony. Optical Physics for Nanolithography. SPIE Digital Library.
Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.