Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Rai-Choudhury, Prosenjit. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Rai-Choudhury, Prosenjit. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.