Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Rai-Choudhury, Prosenjit
Formatua: Baliabide elektronikoa eBook
Hizkuntza:ingelesa
Argitaratua: SPIE Digital Library, 1/1/97
Gaiak:
Sarrera elektronikoa:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Antzeko izenburuak