Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIX. SPIE Digital Library.
Chicago-referens (17:e uppl.)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIX. SPIE Digital Library.
MLA-referens (9:e uppl.)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIX. SPIE Digital Library.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.