Wood, O. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography V. SPIE Digital Library.
शिकागो शैली (17वां संस्करण) प्रशस्ति पत्रWood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography V. SPIE Digital Library.
एमएलए (9वां संस्करण) प्रशस्ति पत्रWood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography V. SPIE Digital Library.
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