Wood, O. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography V. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography V. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography V. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.