Wood, O. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography V. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography V. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Wood, Obert. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography V. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.