Citação APA (7ª ed.)

Cain, J. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVIII. SPIE Digital Library.

Citação do estilo Chicago (17ª ed.)

Cain, Jason. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVIII. SPIE Digital Library.

Citação MLA (9ª ed.)

Cain, Jason. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVIII. SPIE Digital Library.

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