Oehrlein, G. Advanced Etch Technology for Nanopatterning III. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Oehrlein, Gottlieb. Advanced Etch Technology for Nanopatterning III. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Oehrlein, Gottlieb. Advanced Etch Technology for Nanopatterning III. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.