Ciarlo, D. Developments in Semiconductor Microlithography III. SPIE Digital Library.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Ciarlo, Dino. Developments in Semiconductor Microlithography III. SPIE Digital Library.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الإصدار التاسع)Ciarlo, Dino. Developments in Semiconductor Microlithography III. SPIE Digital Library.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.