Ciarlo, D. Developments in Semiconductor Microlithography III. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)Ciarlo, Dino. Developments in Semiconductor Microlithography III. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 9)Ciarlo, Dino. Developments in Semiconductor Microlithography III. SPIE Digital Library.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..