Ciarlo, D. Developments in Semiconductor Microlithography III. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Ciarlo, Dino. Developments in Semiconductor Microlithography III. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Ciarlo, Dino. Developments in Semiconductor Microlithography III. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.