Kato, K. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIX. SPIE Digital Library.
Citace podle Chicago (17th ed.)Kato, Kokoro. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIX. SPIE Digital Library.
Citace podle MLA (9th ed.)Kato, Kokoro. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIX. SPIE Digital Library.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..