Kato, K. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIX. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Kato, Kokoro. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIX. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Kato, Kokoro. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIX. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.