Naulleau, P. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IV. SPIE Digital Library.
শিকাগো স্টাইল (17 তম সংস্করণ) উদ্ধৃতিNaulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IV. SPIE Digital Library.
M.L.A (9 ম সংস্করণ) উদ্ধৃতিNaulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IV. SPIE Digital Library.
সতর্কবাণী: সাইটেশন সবসময় 100% নির্ভুল হতে পারে না.