Conley, W. Optical Microlithography XXVI. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfConley, Willard. Optical Microlithography XXVI. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfConley, Willard. Optical Microlithography XXVI. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..