MEMS and MOEMS Technology and Applications

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Rai-Choudhury, Prosenjit
Ձևաչափ: Էլեկտրոնային էլ․ գիրք
Լեզու:անգլերեն
Հրապարակվել է: SPIE Digital Library, 1/1/00
Խորագրեր:
Առցանց հասանելիություն:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)