Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology XVI. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XVI. SPIE Digital Library.
MLA-viite (9. p.)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XVI. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.