La Fontaine, B. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography II. SPIE Digital Library.
Chicago (17e ed.) BronvermeldingLa Fontaine, Bruno. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography II. SPIE Digital Library.
MLA (9e ed.) BronvermeldingLa Fontaine, Bruno. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography II. SPIE Digital Library.
Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.