La Fontaine, B. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography II. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfLa Fontaine, Bruno. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography II. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfLa Fontaine, Bruno. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography II. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..