Raymond, C. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXV. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումRaymond, Christopher. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXV. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումRaymond, Christopher. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXV. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.