Behringer, U. 27th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)Behringer, Uwe. 27th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
Citação MLA (9ª ed.)Behringer, Uwe. 27th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
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