Konishi, T. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XVIII. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Konishi, Toshio. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XVIII. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Konishi, Toshio. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XVIII. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.