Modeling Aspects in Optical Metrology III

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Bodermann, Bernd
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 5/23/11
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)