Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology XVII. SPIE Digital Library.
Citação norma ChicagoMaher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XVII. SPIE Digital Library.
Citação norma MLAMaher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XVII. SPIE Digital Library.
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