Naulleau, P. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography III. SPIE Digital Library.
Chicago-referens (17:e uppl.)Naulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography III. SPIE Digital Library.
MLA-referens (9:e uppl.)Naulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography III. SPIE Digital Library.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.