APA-referens (7:e uppl.)

Naulleau, P. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography III. SPIE Digital Library.

Chicago-referens (17:e uppl.)

Naulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography III. SPIE Digital Library.

MLA-referens (9:e uppl.)

Naulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography III. SPIE Digital Library.

Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.