Цитирование APA (7-е изд.)

Naulleau, P. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography III. SPIE Digital Library.

Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)

Naulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography III. SPIE Digital Library.

Цитирование MLA (9-е изд.)

Naulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography III. SPIE Digital Library.

Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.